據(jù)軟板廠了解,在作為半導(dǎo)體基板的硅晶圓領(lǐng)域,信越化學(xué)工業(yè)和SUMCO兩家日本企業(yè)占有全球5成以上的份額。
來(lái)到集成電路生產(chǎn)不可或缺的光刻膠領(lǐng)域,日本企業(yè)所占的份額也達(dá)到9成。JSR及信越化學(xué)等企業(yè)占有優(yōu)勢(shì)。昭和電工等正在生產(chǎn)半導(dǎo)體表面研磨用的CMP研磨液,日本企業(yè)所占的份額也超過4成。
(注)份額是英國(guó)Omdia的調(diào)查數(shù)據(jù)。2019年,光掩膜包括自產(chǎn)品。
據(jù)軟板廠了解,東京電子在涂布顯影設(shè)備上的份額就占到近9成。在清除晶圓垃圾及污物的清洗設(shè)備上,日本企業(yè)的份額超過6成。后制程設(shè)備的劃片機(jī)方面,迪思科(DISCO)擁有7成份額。
據(jù)軟板廠了解,東京電子在EUV(極紫外)相關(guān)工序使用的涂布顯影設(shè)備領(lǐng)域,是世界唯一的量產(chǎn)企業(yè)。每年設(shè)備的總供貨量達(dá)到4000臺(tái)。日本SCREEN控股在清洗設(shè)備領(lǐng)域占有45.8%的全球份額。
(注)2020年根據(jù)GlobalNet的數(shù)據(jù)繪制
(注)Patent Result公司調(diào)查,美國(guó)專利廳公布的專利,截止2月底